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日本三豐輪廓儀C-3000粗糙度儀 X1 軸 測量范圍: 200mm 分辨率: 0.05μm 檢測方法: 反射型線性編碼器 驅動速度: 大 200mm/s （CNC） 0 - 50mm/s （操縱桿） 測量速度: 0.02 - 2mm/s 移動方向: 向前／向后 直線度: 2μm/200mm